压电微机械超声换能器和换能器阵列

摘要

一种设备可包含一或多个分段压电微机械超声换能器PMUT元件。每个分段PMUT元件可包含衬底、安置在所述衬底上的锚定结构以及安置成接近于所述锚定结构的膜。所述膜可包含压电层叠层和机械层。所述锚定结构可包含将所述分段PMUT元件划分成分段的边界部分。每个分段可具有对应的分段空腔。所述边界部分可对应于整个膜的节线。所述膜可包含安置成接近于每个分段空腔的膜分段。所述膜可经配置以当所述分段PMUT元件接收或发射信号时进行挠曲运动和振动中的一或两者。