机译:基于硅 - 镶嵌技术(SOI)技术的可弯曲压电微机械超声换能器(PMUT)阵列
Katholieke Univ Leuven ESAT MICAS Dept Elect Engn B-3001 Leuven Belgium;
Katholieke Univ Leuven ESAT MICAS Dept Elect Engn B-3001 Leuven Belgium;
Katholieke Univ Leuven ESAT MICAS Dept Elect Engn B-3001 Leuven Belgium;
Katholieke Univ Leuven ESAT MICAS Dept Elect Engn B-3001 Leuven Belgium;
Silicon; Springs; Fabrication; Substrates; Transducers; Ultrasonic imaging; Stress; Piezoelectric micromachined ultrasound transducer (pMUT); silicon on insulator (SOI); bendable; deep reactive ion etching (DRIE);
机译:使用压电微机械超声换能器(pMUT)阵列的多合一低强度脉冲超声刺激系统,用于靶向细胞刺激
机译:压电微机械超声换能器(pMUT)阵列,用于宽带水下通信应用
机译:用于集成传感,致动和成像的压电微机械超声换能器(PMUT)阵列
机译:灵活的基于Soi的压电微机械超声换能器(PMUT)阵列
机译:使用多用户MEMS工艺进行压电微机械超声换能器(PMUT)的医学成像设计与建模
机译:压电微机械超声换能器(PMUT)阵列用于集成传感驱动和成像
机译:基于硅 - 镶嵌技术(SOI)技术的可弯曲压电微机械超声换能器(PMUT)阵列