基于缺陷与设计属性的缺陷检视取样和标准化

摘要

本发明涉及一种用于分类缺陷的决策树及标准化再分类。缺陷检视取样及标准化可用于精确柏拉图排序及缺陷来源分析。缺陷检视系统(例如宽带等离子体工具)及控制器可用于使用所述决策树基于缺陷属性及设计属性将缺陷装箱。将类别码指派给每个箱中的所述缺陷的至少一些。标准化再分类将类别码指派给箱中的任何未经分类缺陷。如果在标准化再分类后，任一个箱具有超过一个类别码，那么可使用额外决策树。