一种低温漂的谐振式微加速度计等腰直角三角形阵列结构

摘要

本发明涉及谐振式微加速度计，具体是一种低温漂的谐振式微加速度计等腰直角三角形阵列结构。本发明解决了现有谐振式微加速度计在输入的加速度较小时形成测量盲区、制造成本高、成品率低、功能受限的问题。一种低温漂的谐振式微加速度计等腰直角三角形阵列结构，包括三个尺寸相同的单谐振机构微加速度计；三个单谐振机构微加速度计的敏感轴线在同一平面内相交形成等腰直角三角形；所述单谐振机构微加速度计包括质量块和谐振机构；所述谐振机构包括左一大锚块、右一大锚块、左二大锚块、右二大锚块、左一方波状支撑梁、右一方波状支撑梁、左二方波状支撑梁、右二方波状支撑梁、中间锚块。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。