光谱光束轮廓叠对度量

摘要

一种光谱光束轮廓度量系统同时在大波长范围及大入射角AOI范围内检测测量信号。在一个方面中，将多波长照明光束重新整形成窄线形光束，所述窄线形光束被投射到叠对度量目标上，使得所述线形光束的方向与所述叠对度量目标的光栅结构的延展方向对准。所收集光沿一个方向根据AOI且沿另一方向根据波长而跨越检测器分散。每一检测器像素处的所测量信号与特定AOI及波长相关联。所述所收集光包含一级衍射光、零级衍射光或其组合。在一些实施例中，在所述检测器的单独区上检测一级衍射光及零级衍射光。