TFT行业铜制程用高回收率环保型剥离液

摘要

本发明涉及一种TFT行业铜制程用高回收率环保型剥离液，包括如下质量百分比的成分，醇醚40～50%，低沸点有机溶剂30～45%，缓蚀剂1～5%，非离子型表面活性剂1～5%，余量为纯水。其中，低沸点有机溶剂为酰胺类或内酰胺类低沸点有机溶剂中的一种或几种。试验证明该剥离液在常温下非常稳定，剥离速度快，使用成本低，寿命长。采用低沸点的有机溶剂后能够显著提高剥离液中有效成分的回收。