公开/公告号CN100395510C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司;
申请/专利号CN200410052511.4
发明设计人 张俊毅;
申请日2004-11-26
分类号G01B5/06(20060101);G01N25/18(20060101);
代理机构
代理人
地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
入库时间 2022-08-23 09:00:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 5/06 授权公告日:20080618 终止日期:20141126 申请日:20041126
专利权的终止
2008-06-18
授权
授权
2006-10-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-05-31
公开
公开
机译: 厚度变化测量装置,使用相同厚度的系统,使用相同厚度的表面显微镜,使用厚度变化测量的方法以及使用相同厚度的表面图像的获取方法
机译: 厚度变化测量装置,使用相同厚度的系统,使用相同厚度的表面显微镜,使用厚度变化测量的方法以及使用相同厚度的表面图像的获取方法
机译: 厚度变化测量装置,使用相同厚度的系统,使用相同厚度的表面显微镜,使用厚度变化测量的方法以及使用相同厚度的表面图像的获取方法