晶圆切片机及其收放线装置与晶圆切片的方法

摘要

一种晶圆切片机的收放线装置包含移载单元、第一绕线单元与第二绕线单元。所述移载单元包括沿第一水平方向延伸的轨道。所述第一绕线单元位于所述轨道上方并能相对于自身轴线自转，所述自身轴线的延伸方向平行所述第一水平方向。所述第二绕线单元位于所述轨道上方并能相对于所述自身轴线自转。所述第一绕线单元与所述第二绕线单元的至少其中一个能相对所述轨道在所述第一水平方向上移动，所述第一、第二绕线单元彼此能在结合状态与非结合状态间切换，在所述结合状态下，所述第一、第二绕线单元彼此靠近在一起，在所述非结合状态下，所述第一、第二绕线单元彼此远离。本发明另提供一种运用前述收放线装置的晶圆切片机，及两种晶圆切片的方法。