加速度测量仪和用于制造这种加速度测量仪的方法

摘要

本发明涉及一种加速度测量仪(1)，其具有压电系统(2)、振动质量(3)和基板(4)；在加速期间，振动质量(3)将与它的加速度成比例的力施加到压电系统(2)上，所述力在所述压电系统(2)中产生压电电荷，并且所述压电电荷能够作为加速度信号被电量取，其中，振动质量(3)具有两个质量元件(30，30')；其中，正压电电荷能够在第一质量元件(30)上作为加速度信号被电量取；并且其中，负压电电荷能够在第二质量元件(30')上作为加速度信号被电量取。