磷化铟单结晶体和磷化铟单结晶衬底

摘要

本发明公开了一种磷化铟单结晶体，所述磷化铟单结晶体具有小于1×10¹⁶个原子·cm^‑3的氧浓度，并且包含具有圆柱形状的直体部，其中所述直体部的直径为大于或等于100mm且小于或等于150mm，或者大于100mm且小于或等于150mm。本发明公开了一种磷化铟单结晶衬底，所述磷化铟单结晶衬底具有小于1×10¹⁶个原子·cm^‑3的氧浓度，其中所述磷化铟单结晶衬底的直径为大于或等于100mm且小于或等于150mm，或者大于100mm且小于或等于150mm。