公开/公告号CN108807203B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 世界先进积体电路股份有限公司;
申请/专利号CN201710292901.6
申请日2017-04-28
分类号H01L21/66(20060101);G01B7/02(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人汤在彦;孙乳笋
地址 中国台湾新竹科学工业园区
入库时间 2022-08-23 11:07:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-31
授权
授权
2018-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20170428
实质审查的生效
2018-11-13
公开
公开
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