盘片装置

摘要

一种盘片装置，其将盘片搬送装置一边朝与盘片搬送方向交叉的例如向下方向移动，一边朝盘片插入口侧避让，从而使盘片搬送滚筒的避让区域变窄。该盘片装置包括：可沿盘片的搬送方向进退移动且对该盘片的搬送进行引导的导向装置；可转动地设置在该导向装置的两端部的转动构件；在该两个转动构件之间与所述导向装置相对配置的盘片搬送装置；在所述导向装置向盘片插入口侧避让时使所述转动构件转动以使所述盘片搬送装置朝与盘片搬送方向交叉的方向移动的转动装置。