法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-17
授权
授权
2018-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/22 申请日:20180523
实质审查的生效
2018-09-28
公开
公开
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机译: 制造具有残余应力的悬臂梁和悬臂梁的装置和方法
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