基于改进型量子进化算法的宽光谱极紫外多层膜设计方法

摘要

基于改进型量子进化算法的宽光谱极紫外多层膜设计方法，属于极紫外多层膜技术领域。解决了现有设计方法耗时长、求解效率和求解精度低的问题。本发明的设计方法先对膜系进行量子编码，然后采用评价函数对种群中量子染色体个体的适应度值进行计算，并保存最优的膜系；再判断最优膜系是否满足优化准则，若满足优化准则，算法停止，输出膜系结构；若不满足优化准则，对个体进行单实数基因位变异，判断个体的单实数基因位变异是否为有效进化，若为有效进化，采用量子旋转门对相应的量子概率幅进行更新，再采用精英保留策略，更新最优的多层膜膜系，直至进化完成。该设计方法耗时短、求解效率和求解精度高。