快速热退火机

摘要

本发明提出了一种快速热退火机，其包括：多个依次排布降温室，其设置有用于输入物料的入口以及用于输出物料的出口；以及设置在入口周围且用于吸收从降温室的入口输入的热量的第一冷却模块，其中，相邻两个降温室中的一个降温室的入口与另一个降温室的出口相接通。采用这种设计能进一步地提高相邻两个降温室的温差，来实现对基板进行更快地降温，从而可以通过减少降温室的数量方式来降低快速热退火机的成本。