基于光谱成像的等离子体组分空间分布实时测量方法及其装置

摘要

本发明公开了一种基于光谱成像的等离子体组分空间分布实时测量方法及其装置，针对观测微纳制造过程中的等离子体加工问题。利用声光可调谐滤波器AOTF的扫频，获取特定波长下的光谱图像，结合光纤光谱仪的高分辨率光谱数据流，完成系统分辨率的优化。相比传统的等离子体加工检测方法，本发明基于仪器采集到的光谱图像，通过指定等离子体组分空间的任意位置，实时感知到该位置处组分的浓度变化；具有自动化程度高，实时性等特点。