一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器

摘要

本发明公开了一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器，包括驱动机构、2个箝位机构和动子组成，其中驱动机构由4个对称布置的驱动支链和1对定子组成，驱动支链由2个杠杆结构组成，驱动支链采用柔性铰链连接于定子，相对于定子能作往复微位移运动；箝位机构由对称布置的3对柔性铰链、1对杆件组和1对箝位片组成，2个箝位机构通过杆件对称连接于驱动机构两端；动子为细长圆柱形结构，置于微驱动器对称中心，通过孔与箝位机构配合，通过通槽与驱动机构配合，能在孔和通槽中运动。采用驱动机构驱动箝位机构进行往复运动，箝位机构带动动子作直线运动的运动形式仿生尺蠖运动规律。所设计的微驱动器可用于超精密加工、精密工程、微机电系统、生物工程、半导体制造等领域。