氮化硅-碳化硅复相多孔陶瓷的制备方法

摘要

本发明公开了一种氮化硅‑碳化硅复相多孔陶瓷的制备方法，包括以下步骤：(1)以硅粉和酚醛树脂粉末为主要原料，制备陶瓷素坯；(2)将步骤(1)所得的陶瓷素坯在惰性保护气氛下进行碳化，使酚醛树脂形成热解碳，得到碳化后的坯体；(3)将步骤(2)所得的碳化后的坯体在含氮气气氛下进行氮化，使氮气与一部分硅粉反应生成氮化硅，同时使热解碳与另一部分硅粉反应生成碳化硅，得到氮化硅‑碳化硅复相多孔陶瓷。该氮化硅‑碳化硅复相多孔陶瓷的制备方法能有效提高硅粉在低温阶段的氮化效率，从而降低硅粉氮化过程中的升温工艺控制难度，避免析硅现象产生。