公开/公告号CN108292108B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-26
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201680069224.5
申请日2016-11-07
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 11:03:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-26
授权
授权
2018-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20161107
实质审查的生效
2018-07-17
公开
公开
机译: 计量目标,方法和装置,目标设计方法,计算机程序和光刻系统
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