喷头、喷淋组件、冷却剂的供应方法及晶圆的研磨方法

摘要

本发明提供一种喷头、喷淋组件、冷却剂的供应方法及晶圆的研磨方法，喷头用于向砂轮喷淋液体，包括：喷嘴，所述喷嘴的内部设有用于流通所述液体的通道；两个隔离部件，所述隔离部件分别设置在所述喷嘴的出口端的两侧，所述隔离部件的第一端与所述喷嘴连接，第二端凸出于所述喷嘴的出口端的外缘，用于阻挡所述砂轮旋转时，空气在所述砂轮的表面形成空气层。根据本发明实施例的喷头可以有效的隔离空气，避免大量的空气与冷却剂接触并在砂轮表面形成空气层，从而可以连续的研磨晶圆的表面，提高晶圆的质量。