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砷和氟共掺杂氧化锡位置敏感探测器的制备方法

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本发明公开了一种砷和氟共掺杂氧化锡位置敏感探测器的制备方法，首先进行衬底清洗，清除硅片表面的污染杂质；利用油浴加热硝酸溶液，把清洗好的硅片浸泡在其中；将高纯SnCl

著录项

公开/公告号CN109768118B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-23

原文格式PDF
申请/专利权人浙江师范大学;
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申请/专利号CN201811612905.9
发明设计人黄仕华;周理想;陆肖励;陈达;
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申请日2018-12-27
分类号
代理机构杭州之江专利事务所(普通合伙);
代理人朱枫
地址 321004 浙江省金华市迎宾大道688号
入库时间 2022-08-23 11:02:54

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-23

授权

授权
2019-06-11

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20181227

实质审查的生效
2019-05-17

公开

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1. 砷和氟共掺杂氧化锡位置敏感探测器的制备方法 [P] . 中国专利： CN109768118B . 2020.06.23
2. 砷和氟共掺杂氧化锡位置敏感探测器的制备方法 [P] . 中国专利： CN109768118A . 2019-05-17
3. method for the preparation of tetra - acetonitrilolithium hexafluorfosfaat or arsenaat and lithiumhexafluorfosfaat or arsenaat,process for the polymerization of cyclic ether or an unsaturated compound, and wholly or partly composed of material objects.obtained by applying this method. [P] . NL169587C . 1982-08-02

机译：六氟膦酸或砷酸四乙腈三锂和六氟膦酸锂或砷酸锂的制备方法，环醚或不饱和化合物的聚合方法，全部或部分由材料物组成。
4. method for the preparation of tetra - acetonitrilolithium hexafluorfosfaat or arsenaat and lithiumhexafluorfosfaat or arsenaat,process for the polymerization of cyclic ether or an unsaturated compound, and wholly or partly composed of material objects.obtained by applying this method. [P] . NL169587B . 1982-03-01

机译：六氟膦酸或砷酸四乙腈三锂和六氟膦酸锂或砷酸锂的制备方法，环醚或不饱和化合物的聚合方法，全部或部分由材料物组成。
5. method for the preparation of tetra - acetonitrilolithium hexafluorfosfaat or arsenaat and lithiumhexafluorfosfaat or arsenaat,process for the polymerization of cyclic ether or an unsaturated compound, and wholly or partly composed of material objects.obtained by applying this method. [P] . 法国专利： FR2043783A1 . 1971-02-19

机译：六氟膦酸或砷酸四乙腈三锂和六氟膦酸锂或砷酸锂的制备方法，环醚或不饱和化合物的聚合方法，全部或部分由材料物组成。