基于位置敏感探测器的非接触位移测量系统

摘要

针对复杂的位移测量环境，设计了一套基于位置敏感探测器(position sensitive detector)的非接触位移测量系统，系统由激光器、位置敏感探测器、前置放大电路、单片机控制电路、计算机等组成。介绍了PSD的原理、系统的工作原理、前置放大电路、控制电路和软件程序设计。其中，控制电路采用Atmlegal6单片机控制激光器电源调制、信号的检测、信号的传输，使整个测量过程有序进行。实验结果表明，利用位置敏感探测器PSD的非接触测量系统方便简捷，精度高，响应速度快，控制方便。