四边型位置敏感探测器位置公式的改进

摘要

四边形位置敏感探测器(PSD)的传统位置计算公式不能正确反映实际光斑位置,存在严重的枕形失真,需要进行复杂的修正 基于Lucovsky方程的解析解,提出了改进型的PSD计算公式,结果表明,采用改进型公式可以使用少量数据完成对PSD的非线性修正,极大地提高PSD中央大部区域的线性度 对于1×1cm2 的PSD,在60%光敏面的区域内均方根误差小于3μm,非线性度小于0. 05%,该公式适用于所有的四边形PSD。