法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-19
授权
授权
2019-08-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/54 申请日:20190411
实质审查的生效
2019-08-02
公开
公开
机译: 能够减少真空蒸发和冷却过程的热介质的冷却装置,处理腔室,处理腔室的组件及其冷却方法
机译: 处理冷却润滑剂,包括用电场填充冷却润滑剂,将其引导到第一腔室中,排出冷却润滑剂,将冷却润滑剂重新引导到第二腔室中,并排出冷却润滑剂
机译: 具有冷却装置的处理腔室以及用于在处理腔室中冷却基板的方法