大口径光学元件表面缺陷增长分析方法、系统、装置

摘要

本发明属于机器视觉表面缺陷检测领域，具体涉及一种大口径光学元件表面缺陷增长分析方法、系统、装置，旨在解决精密光学元件缺陷信息的追溯缺少依据的问题。本系统方法包括获取光学元件t时刻表面缺陷图像及缺陷信息Db和t+1时刻表面缺陷图像及缺陷信息Df；选取光学元件t时刻的基准点O1和角度A1，利用模板匹配获取t+1时刻O1的匹配点O2和角度A2；以匹配点O2为基准，将Db转换为转换缺陷信息Dbc；将转换缺陷信息Dbc和缺陷信息Df进行匹配，若匹配结果大于设定阈值，判定为同一缺陷，否则重新获取缺陷图像；判定为同一缺陷的，根据Dbc和Df中缺陷等效长度变化，获取光学元件缺陷增长情况。本发明准确实现大口径光学元件表面缺陷检测的增长分析，为精密光学元件缺陷信息追溯提供依据。