大口径光学元件表面缺陷检测及反演技术研究

目录

摘要

1．1课题研究目的及意义

1．2光学元件表面疵病的检测现状

1．2．1接触式检测法

1．2．2非接触式检测法

1．3本课题的主要研究内容

1．3．1本论文的主要研究内容

1．3．2本论文主要研究工作重点

1．4论文章节安排

2光学元件表面疵病检测及反演理论研究

2．1显微散射暗场成像检测技术

2．1．1显微散射暗场成像检测原理

2．1．2显微散射暗场成像系统

2．2光学元件表面疵病深度信息反演理论

2．2．1表面粗糙度与全积分散射(TIS)的关系模型

2．2．2表面疵病与表面粗糙度的关系模型

2．2．3表面疵病与全积分散射之间的关系模型

2．3本章小结

3光学元件表面疵病深度信息仿真分析

3．1光学元件表面疵病的仿真

3．1．1高斯随机粗糙表面的仿真

3．1．2随机粗糙表面的缺陷仿真

3．2表面疵病深度仿真结果及分析

3．2．1划痕深度计算结果及分析

3．2．2麻点深度计算结果及分析

3．3本章小结

4光学元件表面疵病检测及反演实验研究

4．1光学元件表面疵病采集及预处理

4．1．1疵病图像的采集

4．1．2疵病图像的预处理

4．2子孔径疵病图像拼接及识别

4．2．1子孔径疵病图像的拼接

4．2．2全孔径疵病图像的识别

4．2．3误差分析

4．3光学元件表面疵病深度反演实验研究

4．3．1白光干涉仪泄表面粗糙度实验

4．3．2表面疵病深度信息的反演验证

4．4本章小结

5结论与展望

5．1结论

5．2展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

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