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郭隐彪; 王振忠; 彭云峰; 杨炜; 毕果;
厦门大学物理与机电工程学院;
微纳米加工与检测联合实验室;
福建厦门361005;
微纳米加工; 检测; 超精密加工装备; 快速抛光; 加工监控; 表面织构化;
机译:达曼光栅作为可集成的微光学元件,是通过双光子光聚合通过激光微纳加工制成的
机译:达曼光栅作为可集成的微光学元件,是通过双光子光聚合通过激光微纳加工而产生的
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机译:使用平行宽光束光学元件的可靠检测技术2
机译:使用平行宽光束光学元件的可靠检测技术
机译:大口径曲面光学元件的表面检测自动检测装置及方法
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