一种高灵敏硅二维风速计及其制作方法

摘要

本发明涉及一种高灵敏硅二维风速计，包括衬底（1）、绝缘隔热层（2）、正四棱台（3）和四个测量组；基于本发明所设计的技术方案，构成高灵敏硅二维风速计，同时设计了与之对应的高灵敏硅二维风速计制造方法，整个技术方案是一种迎风结构，任何时候总有一个或两个斜坡面面对来风的方向，对风速计的安装要求低，且可提高整个器件的灵敏度；风速计的矩形块状加热件（4）和测温元件（5）都制作在正四棱台（3）的斜坡面上，有效降低了芯片体积；如此，风速计设置在斜坡面上，迎风和背风的传感器受凸台隔离，降低了交叉敏感，提高了器件的灵敏度。