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公开/公告号CN108428789B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;
申请/专利号CN201810111325.5
发明设计人 何珂;姜高源;薛其坤;
申请日2018-02-05
分类号H01L43/06(20060101);H01L43/10(20060101);H01L43/14(20060101);
代理机构11606 北京华进京联知识产权代理有限公司;
代理人王赛
地址 100084 北京市海淀区清华园1号
入库时间 2022-08-23 10:59:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-22
授权
2018-09-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L43/06 申请日:20180205
实质审查的生效
2018-08-21
公开
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