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用于可变形反射镜的机电执行器

摘要

在一个方面,本发明涉及用于产生双向力的执行器,所述双向力旨在被集成到包括可变形反射基板的可变形反射镜中。所述执行器包括固定体(10);驱动设备;驱动杆(20),所述驱动杆(20)能够通过所述驱动设备沿平移轴线(xx')相对于所述固定体(10)平移运动;浮动头(30),其被设计成附接到可变形反射基板,并且经由第一和第二弹性装置(33、35)相对于驱动杆以浮动方式安装。第一和第二弹性装置(33、35)分别安装在驱动杆(20)和浮动头(30)之间,并被设计成对浮动头施加力,这两个力在平移轴线(xx')具有相反的方向。

著录项

  • 公开/公告号CN107636343B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-05-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 想象光学公司;

    申请/专利号CN201680028188.8

  • 发明设计人 X·莱韦克;N·勒弗德;

    申请日2016-03-23

  • 分类号

  • 代理机构上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人陆嘉

  • 地址 法国奥尔赛

  • 入库时间 2022-08-23 10:58:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-19

    授权

    授权

  • 2018-04-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):F16F3/04 申请日:20160323

    实质审查的生效

  • 2018-01-26

    公开

    公开

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