公开/公告号CN105977180B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 日月光半导体制造股份有限公司;
申请/专利号CN201610458556.4
申请日2012-01-06
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陆勍
地址 中国台湾高雄市楠梓加工出口区经三路26号
入库时间 2022-08-23 10:57:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-08
授权
授权
2016-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20120106
实质审查的生效
2016-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20120106
实质审查的生效
2016-09-28
公开
公开
2016-09-28
公开
公开
机译: 有源精细结构元件的功能测试方法和装置,以及使用该测试方法制造有源精细元件的方法
机译: 测试活性微结构元件功能的方法和设备以及使用该测试方法生产微结构元件的方法
机译: 测试活性微结构元件功能的方法和设备以及使用该测试方法生产微结构元件的方法