一种基于无掩模光刻机的三维轮廓显微测量方法

摘要

本发明公开了一种基于无掩模光刻机的三维轮廓显微测量方法，所述的测量方法在光刻机上进行，所述光刻机包括光源、空间光调制器、第一透镜、分光镜、相机、第二透镜、第三透镜和载物台；所述的测量方法包括：S1.调节样品与第三透镜之间的位置；S2.空间光调制器上显示一系列条纹结构图；相机拍摄一系列待测样品图像；S3.计算得到一张调制度图；S4.第三透镜向下移动一个固定间距d并重复S3；S5.n1次重复S4；S6.对这n1张调制度图进行处理，得到样品表面微观轮廓图。本发明提供一种基于无掩模光刻机的三维轮廓显微测量方法，利用无掩模光刻机的现有硬件，实现光刻样品的三维形貌测量，使光刻机能够同时实现光刻和三维检测的复合功能。