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共焦显微镜三维轮廓快速测量方法及其误差分析

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摘要

共焦显微术在生物学及工程应用中已成为一种有效的测量、观察方法．本文针对共焦显微三维测量系统提出了一种高精度快速算法，并进行了误差分析与计算机仿真．对实际共焦三维测量系统的设计具有重要意义．

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来源
《光子学报》 |2000年第6期|549-553|共5页
作者
孔兵; 王昭; 谭玉山; 弥宁;
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作者单位

西安交通大学激光与红外研究所;

机械制造工程系统国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
共焦显微术; 三维测量; 误差分析; 计算机仿真;

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