基于原子力显微镜扫描的金刚石刀具纳米刃口轮廓测量方法研究

摘要

基于扫描探针理论 ,本文介绍了一种超精密加工用金刚石刀具刃口锋锐轮廓的测量方法 ,给出了测量图象并分析了测量结果 ,首次对金刚石刀具刃口轮廓参数进行了 AFM扫描原理下的初步评定。这一方法可提高金刚石刀具刃口锋锐度的测量准确度 。