用原子力显微镜扫描测量金刚石刀具刃口半径

摘要

介绍了应用原子力显微镜（ＡＦＭ）扫描测量超精密加工用金刚石刀具刃口半径的方法，给出了测量图象和测量结果。该方法可提高金刚石刀具刃口半径的测量精度，对进一步分析刃口参数对超精密加工表面质量的影响具有一定指导意义。