法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-10
授权
授权
2019-06-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G06K19/02 申请日:20190219
实质审查的生效
2019-06-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G06K 19/02 申请日:20190219
实质审查的生效
2019-05-28
公开
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2019-05-28
公开
公开
2019-05-28
公开
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机译: 基于氧化锌的溅射靶材,制造基于氧化锌的溅射靶材的方法,以及具有通过制造基于氧化锌的溅射靶材的方法沉积的具有屏蔽层的薄膜晶体管
机译: 基于氧化锌的溅射靶材,制备方法以及薄膜晶体管,其中包括由基于氧化锌的溅射靶材沉积的阻挡层
机译: 具有基于氧化锌的半导体层和基于氧化锌的绝缘层的薄膜晶体管的制造方法