微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法

摘要

本公开涉及一种微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法，其中，微机电设备可以包括：衬底；隔膜，安装至衬底；第一电极，安装至隔膜；第二电极，安装至衬底；其中，第一电极与第二电极横向相邻；并且其中，隔膜布置在第一电极和第二电极之间的间隙上方。