具有电镀金属栅极的场效应晶体管以及金属栅极的制造方法

摘要

公开了一种制造FET金属栅极的方法，其中金属栅极包括至少一部分通过电镀淀积的材料，FET器件包括至少部分镀覆的金属栅极。还公开了一种制造FET金属栅极的方法，其中金属栅极包括至少一部分镀覆的材料，并且该方法包括以下步骤：选择具有上表面和凹陷区的衬底；在衬底上保形淀积薄导电籽层；以及在籽层上电镀填充栅极金属，填充并过填充凹陷区。