公开/公告号CN107026097B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 沈阳硅基科技有限公司;
申请/专利号CN201610079153.9
申请日2016-02-02
分类号
代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司;
代理人许宗富
地址 110179 辽宁省沈阳市沈阳出口加工区浑南东路15-22号
入库时间 2022-08-23 10:52:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-20
授权
授权
2017-09-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160202
实质审查的生效
2017-09-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20160202
实质审查的生效
2017-08-08
公开
公开
2017-08-08
公开
公开
2017-08-08
公开
公开
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