一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法

摘要

一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法，属于微型机械电子技术领域。压电式激励装置包括筒体、安装在筒体底部的底板、微结构激励单元和光加热单元，微结构激励单元包括一个手动三轴位移台，在手动三轴位移台的垂直溜板上安装有连接板，在连接板上通过螺纹安装有封装压电陶瓷，在封装压电陶瓷的顶部安装有微结构安装板，在微结构安装板的顶部粘接有MEMS微结构；光激励单元中使用了四个遮光板，使得由光加热单元发出的平行光仅能照射在MEMS微结构上；该装置的有益效果是：可以实现对MEMS微结构整体的同时加热，确保了微结构表面的温度分布均匀，降低了微结构表面的温度梯度，大幅提高了高温环境下微结构动态特性参数测试的准确性。