一种用于MEMS惯性测量组合温控的保温结构

摘要

本发明公开了一种用于MEMS惯性测量组合温控的保温结构，包括加热组件、保温层、隔热外罩和底座；所述保温层完全包覆在MEMS惯性测量单元外部；加热组件设置在所述保温层与MEMS惯性测量单元之间，控制MEMS惯性测量单元的温度；隔热外罩和底座组成封闭空间，所述保温层贴附在隔热外罩和底座的内侧。本发明通过设置加热罩、保温层、外罩、底座组成保温结构，重量轻，体积小，恒温效果好，结构刚度好，且成本低。本发明的隔热外罩采用不锈钢材料加工而成，平衡了组合的质量分布，调整了组合重心，使MEMS惯性测量单元重心与组合重心保持一致，保证了MEMS惯性测量单元的减振效果最佳。