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一种周期性多层结构AlTiYN/AlCrSiN硬质涂层及其制备方法和应用

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本发明属于材料涂层领域，公开了一种周期性多层纳米结构AlTiYN/AlCrSiN硬质涂层及其制备方法和应用。制备时先活化金属基体，再沉积～1μm厚的AlTiYN过渡层，为多层结构提供支撑；最后交替沉积制备AlTiYN/AlCrSiN功能层。多层结构中，AlCrSiN中间层以AlTiYN中间层为模板，通过共格生长表现为面心立方结构。AlCrSiN涂层为非晶Si

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公开/公告号CN108468028B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-21

原文格式PDF
申请/专利权人广东工业大学;
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申请/专利号CN201810403923.X
发明设计人王启民;张权;吴正涛;刘喆人;彭滨;
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申请日2018-04-28
分类号
代理机构广东广信君达律师事务所;
代理人张燕玲
地址 510062 广东省广州市大学城外环西路100号
入库时间 2022-08-23 10:50:44

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-02-21

授权

授权
2018-09-25

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20180428

实质审查的生效
2018-09-25

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20180428

实质审查的生效
2018-08-31

公开

公开
2018-08-31

公开

公开
2018-08-31

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