光学邻近校正方法及双重图形曝光方法

摘要

一种光学邻近校正方法及双重图形曝光方法，其中光学邻近校正方法包括：提供目标图形，所述目标图形包括多个子目标图形，且子目标图形分为若干片段；对子目标图形进行模拟曝光，获取子目标图形各片段的光强参数；基于获取的子目标图形各片段的光强参数，获取子目标图形各片段中的标记片段；移除目标图形中具有标记片段的子目标图形，将目标图形分解为第一子图形和第二子图形，其中，第一子图形为具有标记片段的子目标图形的组合。本发明依据曝光能力，获取子目标图形各片段中的标记片段，减小目标图形与最终形成图形之间的区别，提高最终形成图形的精确性。