公开/公告号CN109752844B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-17
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201910196450.5
申请日2019-03-14
分类号G02B27/00(20060101);G03B15/02(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周天宇
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 10:49:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-17
授权
授权
2019-06-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/00 申请日:20190314
实质审查的生效
2019-06-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 27/00 申请日:20190314
实质审查的生效
2019-05-14
公开
公开
2019-05-14
公开
公开
2019-05-14
公开
公开
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