一种可调飞秒激光无衍射光束曲面表面结构高效加工方法

摘要

本发明涉及一种可调飞秒激光无衍射光束曲面表面结构高效加工方法，属于激光应用技术领域。飞秒激光系统产生具有高斯分布的飞秒激光，经过对高斯光束的能量和尺寸的控制，飞秒激光高斯光束平行入射到空间光调制器上，在空间光调制器上加载设计的相位图，生成飞秒激光无衍射光束。这种光束的无衍射区域长度、轴向强度可调，结合空间光调制器的像素拆分方法可以将单焦点变成多焦点。将待加工的曲面置于无衍射区域。该区域长度足以覆盖整个曲面且轴向强度可控，可以通过在二维平面内移动样品即可对整个曲面处理，实现降维加工，保证效率。所需搭建光路简单，使用方便，加工参数可调节效率高，处理材料范围广，在激光表面结构加工领域中起重要作用。