一种基于铁电异质结的具有多值存储特性的非易失性阻变存储单元及其制备方法

摘要

一种基于铁电异质结的具有多值存储特性的非易失性阻变存储单元及其制备方法，属于半导体固态存储器技术领域。由写入底电极、铁电单晶基片、阻变层和顶电极组成；铁电单晶基片的下表面制备有写入底电极，上表面制备有阻变层；阻变层上制备有顶电极，顶电极由四个条形电极构成，中间两个条形电极为电阻状态的读取电极，在读取电极的外侧对称的分布的两个条形电极为写入顶电极，用外部导线相连；或顶电极由一个环形电极和两个条形电极构成，环形电极对称环绕分布在两个条形电极的周围，环形电极为写入顶电极，两个条形电极为电阻状态的读取电极；写入顶电极与写入底电极一起构成了电阻状态的写入电极。具有结构简单、稳定性强、制作成本低、可以工作在室温的特点。