具有多级渐变波导结构的太赫兹片上集成天线过渡结构

摘要

本发明公开一种具有多级渐变波导结构的太赫兹片上集成天线过渡结构，包括依次连接的：输入高次模抑制结构、太赫兹芯片电路及输出高次模抑制结构；所述输入高次模抑制结构、输出高次模抑制结构均至少包括：三级波导，三级波导的H面宽度相等且E面宽度逐级增加或减少，且输入高次模抑制结构与输出高次模抑制结构中各级波导E面重合；所述输入高次模抑制结构、输出高次模抑制结构的末级波导的末端与太赫兹芯片宽度相等；本发明通过在太赫兹片上集成天线过渡的输入、输出端引入多段渐变波导结构实现标准波导与太赫兹芯片的阻抗匹配并抑制高次模。