法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-12-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/027 授权公告日:20080213 终止日期:20091026 申请日:20030925
专利权的终止
2008-02-13
授权
授权
2006-04-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-09-22
公开
公开
机译: 用于电子束投影光刻系统的发射器以及制造和操作该发射器的方法
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