法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-07
授权
授权
2017-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/3065 申请日:20150415
实质审查的生效
2017-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20150415
实质审查的生效
2016-12-14
公开
公开
2016-12-14
公开
公开
机译: 通过对蚀刻室进行预处理来提高硅蚀刻工艺的蚀刻速率
机译: 通过蚀刻室预处理提高硅蚀刻工艺的蚀刻速率
机译: 通过蚀刻室预处理提高硅蚀刻工艺的蚀刻速率