法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-09-15
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B29B 7/72 变更前: 变更后: 申请日:20031112
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2008-01-02
授权
授权
2005-07-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-05-18
公开
公开
机译: 抗蚀剂图案形成工艺优化装置,抗蚀剂图案形成工艺优化方法和抗蚀剂图案形成工艺优化程序
机译: 多变量测试函数生成器,多变量测试函数生成系统,多变量测试函数生成方法和用于生成多变量测试函数的程序
机译: 多变量逆分析方法